TY  - RPRT
TI  - Active mechanical-environmental-thermal MEMS device for nanoscale characterization
AU  - Jungjohann, Katherine L.
AU  - Mook, William
AU  - Chisholm, Claire
AU  - Shaw, Michael
AU  - Hattar, Khalid Mikhiel
AU  - Galambos, Paul C.
AU  - Leenheer, Andrew Jay
AU  - Hearne, Sean J.
PY  - 2020
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1650859
ID  - 1650859
ER  -