TY  - RPRT
TI  - Extreme ultraviolet microscope characterization using photomask surface roughness
AU  - Gunjala, Gautam
AU  - Wojdyla, Antoine
AU  - Sherwin, Stuart
AU  - Shanker, Aamod
AU  - Benk, Markus P.
AU  - Goldberg, Kenneth A.
AU  - Naulleau, Patrick P.
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41598-020-68588-w
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1659729
ID  - 1659729
ER  -