TY  - RPRT
TI  - Accessing Atomic-scale Phosphorus Dopant Distribution in Precise Silicon Devices by Advanced STEM Imaging and Spectroscopy
AU  - Lu, Ping
AU  - Anderson, Evan
AU  - Schmucker, Scott
AU  - Pena, Fabian
AU  - Frederick, Esther
AU  - Ivie, Jeffrey
AU  - Bussmann, Ezra
AU  - Lopez, Deanna
AU  - Tracy, Lisa
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Wang, George
AU  - Ward, Daniel
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2020
DO  - 10.1017/s1431927620018371
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1670186
ID  - 1670186
ER  -