TY  - RPRT
TI  - Low Thermal Budget Gate Stack for Atomic Precision Devices.
AU  - Anderson, Evan Michael
AU  - Schmucker, Scott William
AU  - Campbell, DeAnna Marie
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Baczewski, Andrew David
AU  - Arghavani, Reza
AU  - Ward, Daniel Robert
PY  - 2019
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1700542
ID  - 1700542
ER  -