TY  - RPRT
TI  - Sputtered Au–Ta films with tunable electrical resistivity
AU  - Bayu Aji, L. B.
AU  - Engwall, A. M.
AU  - Bae, J. H.
AU  - Baker, A. A.
AU  - Beckham, J. L.
AU  - Shin, S. J.
AU  - Lepro Chavez, X.
AU  - McCall, S. K.
AU  - Moody, J. D.
AU  - Kucheyev, S. O.
PY  - 2020
DO  - 10.1088/1361-6463/abc501
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1755824
ID  - 1755824
ER  -