TY  - RPRT
TI  - Post-growth modulation doping by ion implantation
AU  - Chiu, P. -Y.
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AU  - Chuang, Y.
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AU  - Li, J. -Y.
AU  - Harris, C. T.
AU  - Lu, T. M.
PY  - 2020
DO  - 10.1063/5.0031992
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1760449
ID  - 1760449
ER  -