TY  - RPRT
TI  - Synthesis and Crystallization of Atomic Layer Deposition β-Eucryptite LiAlSiO 4 Thin-Film Solid Electrolytes
AU  - Sheil, Ryan
AU  - Perng, Ya-Chuan
AU  - Mars, Julian
AU  - Cho, Jea
AU  - Dunn, Bruce
AU  - Toney, Michael F.
AU  - Chang, Jane P.
PY  - 2020
DO  - 10.1021/acsami.0c11614
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1767976
ID  - 1767976
ER  -