TY  - RPRT
TI  - Development of a high-k gate stack for atomic-precision advanced manufacturing.
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Anderson, Evan Michael
AU  - Campbell, DeAnna Marie
AU  - Marshall, Michael Thomas
AU  - Lu, Ping
AU  - Schmucker, Scott William
AU  - Tracy, Lisa A
AU  - Robison, Mitchell
AU  - Arghavani, Reza
AU  - Maurer, Leon
AU  - Baczewski, Andrew David
AU  - Ward, Daniel
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2020
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1768736
ID  - 1768736
ER  -