TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposition of sodium fluoride thin films
AU  - Kuraitis, Sara
AU  - Kang, Donghyeon
AU  - Mane, Anil U.
AU  - Zhou, Hua
AU  - Soares, Jake
AU  - Elam, Jeffrey W.
AU  - Graugnard, Elton
PY  - 2021
DO  - 10.1116/6.0000847
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1770382
ID  - 1770382
ER  -