TY  - RPRT
TI  - Room temperature plasma-etching and surface passivation of far-ultraviolet Al mirrors using electron beam generated plasmas
AU  - Rodriguez de Marcos, Luis V.
AU  - Boris, David R.
AU  - Gray, Emrold
AU  - del Hoyo, Javier G.
AU  - Kozen, Alexander C.
AU  - Richardson, Joseph G.
AU  - Rosenberg, Samantha G.
AU  - Walton, Scott G.
AU  - Wheeler, Virginia
AU  - Wollack, Edward J.
AU  - Woodward, Jeffrey M.
AU  - Quijada, Manuel A.
PY  - 2021
DO  - 10.1364/ome.417475
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1782567
ID  - 1782567
ER  -