TY  - RPRT
TI  - Etching with electron beam-generated plasmas: Selectivity versus ion energy in silicon-based films
AU  - Walton, S. G.
AU  - Boris, D. R.
AU  - Rosenberg, S. G.
AU  - Miyazoe, H.
AU  - Joseph, E. A.
AU  - Engelmann, S. U.
PY  - 2021
DO  - 10.1116/6.0000868
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1782568
ID  - 1782568
ER  -