TY  - RPRT
TI  - Hybrid MEMS-CMOS ion traps for NISQ computing
AU  - Blain, M. G.
AU  - Haltli, R.
AU  - Maunz, P.
AU  - Nordquist, C. D.
AU  - Revelle, M.
AU  - Stick, D.
PY  - 2021
DO  - 10.1088/2058-9565/ac01bb
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1787511
ID  - 1787511
ER  -