TY  - RPRT
TI  - A fitting algorithm for optimizing ion implantation energies and fluences
AU  - Kehayias, Pauli Mark
AU  - Henshaw, Jacob Daniel
AU  - Saleh Ziabari, Maziar
AU  - Titze, Michael Dominik
AU  - Bielejec, Edward S.
AU  - Lilly, Michael P.
AU  - Mounce, Andrew M.
PY  - 2021
DO  - 10.1016/j.nimb.2021.05.014
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1798144
ID  - 1798144
ER  -