TY  - RPRT
TI  - Planarization of optical substrates
AU  - Stolz, Christopher J.
AU  - Folta, James A.
AU  - Mirkarimi, Paul B.
AU  - Soufli, Regina
AU  - Walton, Christopher Charles
AU  - Wolfe, Justin
AU  - Menoni, Carmen S.
AU  - Patel, Dinesh
PY  - 2021
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1805430
ID  - 1805430
ER  -