TY  - RPRT
TI  - Atomic-scale Feedback-controlled Electron Beam Fabrication of 2D Materials
AU  - Boebinger, Matthew
AU  - Misra, Sudhajit
AU  - Yu, Yiling
AU  - Xiao, Kai
AU  - Mathis, Tyler S.
AU  - Gogotsi, Yury G.
AU  - Lupini, Andrew
AU  - Kalinin, Sergei V.
AU  - Jesse, Stephen
AU  - Unocic, Raymond
PY  - 2021
DO  - 10.1017/s1431927621010631
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1817524
ID  - 1817524
ER  -