TY - RPRT TI - Hyperspectral X-ray Imaging: Progress Towards Chemical Analysis in the SEM AU - Carpenter, Matthew Hollis AU - Stein, Benjamin AU - Koehler, Katrina Elizabeth AU - Fontes, Christopher John AU - Smith, Chandler Mack AU - Wagner, Gregory Lawrence AU - Baker, Zachary Kent AU - Handley, Matthew Lee AU - Rabin, Michael W. AU - Yang, Ping AU - Batista, Enrique Ricardo AU - McNeel, Daniel George AU - Schreiber, Katherine Anna AU - Bowes, Eric G. AU - Ullom, Joel N. AU - ONeil, Galen C. AU - Reintsema, Carl D. AU - Bennett, Douglas A. AU - Hilton, Gene C. AU - Swetz, Daniel S. AU - Schmidt, Daniel R. AU - Mates, John A. B. AU - Becker, Daniel T. AU - Weber, Joel C. AU - Gard, Johnathon D. AU - Morgan, Kelsey M. AU - Imrek, Jozsef AU - Yan, Daikang AU - Wessels, Abigail L. AU - Croce, Mark Philip PY - 2021 DO - 10.1109/tasc.2021.3075087 UR - https://www.osti.gov/biblio/1822749 ID - 1822749 ER -