TY  - RPRT
TI  - Lithium source for focused ion beam implantation and analysis
AU  - Titze, Michael
AU  - Perry, Daniel L.
AU  - Auden, Elizabeth A.
AU  - Pacheco, Jose L.
AU  - Abraham, John S.
AU  - Bielejec, Edward S.
PY  - 2021
DO  - 10.1116/6.0000645
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1828030
ID  - 1828030
ER  -