TY  - RPRT
TI  - B- and Al- Doped Delta Layers in Si Using Halogen-Based Precursors.
AU  - Baek, S.
AU  - Farzani, A.
AU  - Radue, M. S.
AU  - Campbell, Quinn
AU  - Dwyer, K. J.
AU  - Baczewski, Andrew David
AU  - Mo, Y.
AU  - Misra, Shashank
AU  - Butera, R. E.
PY  - 2020
DO  - 10.2172/1831356
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1831356
ID  - 1831356
ER  -