TY  - RPRT
TI  - Intelligent Agents for the Optimization of Atomic Layer Deposition
AU  - Paulson, Noah H.
AU  - Yanguas-Gil, Angel
AU  - Abuomar, Osama Y.
AU  - Elam, Jeffrey W.
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acsami.1c00649
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1839075
ID  - 1839075
ER  -