TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposition of fluoride thin films
AU  - Elam, Jeffrey W.
AU  - Mane, Anil U.
AU  - Gebhard, Sr., Michael John
PY  - 2021
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1840416
ID  - 1840416
ER  -