TY  - RPRT
TI  - Atomically precise digital e-beam lithography
AU  - Randall, John N.
AU  - Owen, James H.G.
AU  - Fuchs, Ehud
AU  - Saini, Rahul
AU  - Santini, Robin
AU  - Moheimani, S. O.R.
PY  - 2020
DO  - 10.1117/12.2552083
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1842453
ID  - 1842453
ER  -