TY  - RPRT
TI  - Piezo-optomechanical cantilever modulators for VLSI visible photonics
AU  - Dong, Mark
AU  - Heim, David
AU  - Witte, Alex
AU  - Clark, Genevieve
AU  - Leenheer, Andrew J.
AU  - Dominguez, Daniel
AU  - Zimmermann, Matthew
AU  - Wen, Y. Henry
AU  - Gilbert, Gerald
AU  - Englund, Dirk
AU  - Eichenfield, Matt
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0088424
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1869741
ID  - 1869741
ER  -