TY  - RPRT
TI  - Ultrathin ferroic HfO 2 –ZrO 2 superlattice gate stack for advanced transistors
AU  - Cheema, Suraj S.
AU  - Shanker, Nirmaan
AU  - Wang, Li-Chen
AU  - Hsu, Cheng-Hsiang
AU  - Hsu, Shang-Lin
AU  - Liao, Yu-Hung
AU  - San Jose, Matthew
AU  - Gomez, Jorge
AU  - Chakraborty, Wriddhi
AU  - Li, Wenshen
AU  - Bae, Jong-Ho
AU  - Volkman, Steve K.
AU  - Kwon, Daewoong
AU  - Rho, Yoonsoo
AU  - Pinelli, Gianni
AU  - Rastogi, Ravi
AU  - Pipitone, Dominick
AU  - Stull, Corey
AU  - Cook, Matthew
AU  - Tyrrell, Brian
AU  - Stoica, Vladimir A.
AU  - Zhang, Zhan
AU  - Freeland, John W.
AU  - Tassone, Christopher J.
AU  - Mehta, Apurva
AU  - Saheli, Ghazal
AU  - Thompson, David
AU  - Suh, Dong Ik
AU  - Koo, Won-Tae
AU  - Nam, Kab-Jin
AU  - Jung, Dong Jin
AU  - Song, Woo-Bin
AU  - Lin, Chung-Hsun
AU  - Nam, Seunggeol
AU  - Heo, Jinseong
AU  - Parihar, Narendra
AU  - Grigoropoulos, Costas P.
AU  - Shafer, Padraic
AU  - Fay, Patrick
AU  - Ramesh, Ramamoorthy
AU  - Mahapatra, Souvik
AU  - Ciston, Jim
AU  - Datta, Suman
AU  - Mohamed, Mohamed
AU  - Hu, Chenming
AU  - Salahuddin, Sayeef
PY  - 2022
DO  - 10.1038/s41586-022-04425-6
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1875694
ID  - 1875694
ER  -