TY  - RPRT
TI  - Novel fabrication tools for dynamic compression targets with engineered voids using photolithography methods
AU  - Pandolfi, Silvia
AU  - Carver, Thomas
AU  - Hodge, Daniel
AU  - Leong, Andrew F. T.
AU  - Kurzer-Ogul, Kelin
AU  - Hart, Philip
AU  - Galtier, Eric
AU  - Khaghani, Dimitri
AU  - Cunningham, Eric
AU  - Nagler, Bob
AU  - Lee, Hae Ja
AU  - Bolme, Cynthia Anne
AU  - Ramos, Kyle James
AU  - Li, Kenan
AU  - Liu, Yanwei
AU  - Sakdinawat, Anne
AU  - Marchesini, Stefano
AU  - Kozlowski, Pawel Marek
AU  - Curry, Chandra B.
AU  - Decker, Franz-Joseph
AU  - Vetter, Sharon
AU  - Shang, Jessica
AU  - Aluie, Hussein
AU  - Dayton, Matthew
AU  - Montgomery, David S.
AU  - Sandberg, Richard L.
AU  - Gleason, Arianna E.
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0107542
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1891060
ID  - 1891060
ER  -