TY  - RPRT
TI  - Molecular layer etching
AU  - Young, Matthias John
AU  - Letourneau, Stephen Payonk
AU  - Choudhury, Devika
AU  - Elam, Jeffrey W.
AU  - Yanguas-Gil, Angel
AU  - Mane, Anil U.
PY  - 2022
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1892646
ID  - 1892646
ER  -