TY  - RPRT
TI  - Single-beam plasma source deposition of carbon thin films
AU  - Kim, Young
AU  - Baule, Nina
AU  - Shrestha, Maheshwar
AU  - Zheng, Bocong
AU  - Schuelke, Thomas
AU  - Fan, Qi Hua
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0102605
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1924512
ID  - 1924512
ER  -