TY  - RPRT
TI  - Photolithography of atomic layer resist
AU  - Katzenmeyer, Aaron Michael
AU  - Misra, Shashank
AU  - Baczewski, Andrew David
AU  - Anderson, Evan Michael
AU  - Wang, George T.
AU  - Ward, Daniel Robert
PY  - 2022
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1925019
ID  - 1925019
ER  -