TY  - RPRT
TI  - Phosphorus diffusion and deactivation during SiGe oxidation
AU  - Thornton, Chappel S.
AU  - Shen, Xiao
AU  - Tuttle, Blair
AU  - Li, Xuebin
AU  - Law, Mark E.
AU  - Pantelides, Sokrates T.
AU  - Wang, George T.
AU  - Jones, Kevin S.
PY  - 2023
DO  - 10.1063/5.0145730
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1968108
ID  - 1968108
ER  -