TY  - RPRT
TI  - Atomic-scale e-beam sculptor
AU  - Kalinin, Sergei V.
AU  - Jesse, Stephen
AU  - Borisevich, Albina Y.
AU  - Dyck, Ondrej E.
AU  - Sumpter, Bobby G.
AU  - Unocic, Raymond R.
PY  - 2022
UR  - https://www.osti.gov/biblio/1986895
ID  - 1986895
ER  -