TY  - RPRT
TI  - Investigating Microscale RF Discharge Sensitivity to Ion Transport.
AU  - Moore, Christopher
AU  - Ruyack, Alexander
AU  - Jordan, Matthew
AU  - Kramer, Jack
AU  - Bingham, Andrew
AU  - Hummel, Gwendolyn
AU  - Herrera, Sergio
AU  - Ballance, Mark
AU  - Schiess, Adrian
AU  - Nordquist, Christopher
PY  - 2022
DO  - 10.2172/2004277
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2004277
ID  - 2004277
ER  -