TY  - RPRT
TI  - Integrating atomic layer doping (ALDo) with CMOS circuitry for reduced contact resistance.
AU  - Anderson, Evan
AU  - Schmucker, Scott
AU  - Ivie, Jeffrey
AU  - Campbell, DeAnna
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Lu, Ping
AU  - Bussmann, Ezra
AU  - Leenheer, Andrew
AU  - Scrymgeour, David
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2022
DO  - 10.2172/2005678
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2005678
ID  - 2005678
ER  -