TY  - RPRT
TI  - Direct Integration of Atomic Precision Devices into a MOS-Compatible Process.
AU  - Ivie, Jeffrey
AU  - Campbell, DeAnna
AU  - Leenheer, Andrew
AU  - Halsey, Connor
AU  - Anderson, Evan
AU  - Schmucker, Scott
AU  - Scrymgeour, David
AU  - Gao, Xujiao
AU  - Lepkowski, William
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Tracy, Lisa
AU  - Misra, Shashank
PY  - 2022
DO  - 10.2172/2006067
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2006067
ID  - 2006067
ER  -