TY - RPRT TI - Nanometer flat blazed x-ray gratings using ion beam figure correction AU - Voronov, D. L. AU - Wang, T. (ORCID:0000000168808194) AU - Park, S. AU - Huang, L. (ORCID:0000000256455173) AU - Gullikson, E. M. AU - Salmassi, F. AU - Austin, C. AU - Padmore, H. A. AU - Idir, M. PY - 2023 DO - 10.1364/oe.501418 UR - https://www.osti.gov/biblio/2007235 ID - 2007235 ER -