TY - RPRT TI - Electrolytic Etching of Germanium Substrates with Hydrogen Peroxide AU - Wood, Joseph G. AU - van Buuren, Luke AU - Guo, Ziang AU - Deniz, Ece AU - S. Leite, Marina AU - C. Carpenter, Arthur AU - Hunt, Charles E. (ORCID:0000000347430940) AU - van Benthem, Klaus (ORCID:000000018865046X) PY - 2023 DO - 10.1149/1945-7111/ad0076 UR - https://www.osti.gov/biblio/2202309 ID - 2202309 ER -