TY  - RPRT
TI  - Nonsputtering impulse magnetron discharge
AU  - Khodachenko, G V
AU  - Mozgrin, D V
AU  - Fetisov, I K
AU  - Stepanova, T V
PY  - 2012
DO  - 10.1134/s1063780x1112004x
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22047436
ID  - 22047436
ER  -