TY  - RPRT
TI  - Multi-cusp ion source for Gen 5.5 doping system
AU  - Inouchi, Yutaka
AU  - Matsumoto, Takeshi
AU  - Dohi, Shojiro
AU  - Tanii, Masahiro
AU  - Takahashi, Genki
AU  - Imai, Katsuharu
AU  - Nishimura, Ippei
AU  - Tatemichi, Junichi
AU  - Konishi, Masashi
AU  - Naito, Masao
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.4766555
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22075715
ID  - 22075715
ER  -