TY  - RPRT
TI  - Plasma process optimization for N-type doping applications
AU  - Raj, Deven
AU  - Persing, Harold
AU  - Salimian, Siamak
AU  - Lacey, Kerry
AU  - Shu, Qin
AU  - Hu, Jeff Y
AU  - McTeer, Allen
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.4766491
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22075734
ID  - 22075734
ER  -