TY  - RPRT
TI  - Generating electron cyclotron resonance plasma using distributed scheme
AU  - Huang, C. C.
AU  - Chang, T. H.
AU  - Chen, N. C.
AU  - Chao, H. W.
AU  - Chen, C. C.
AU  - Chou, S. F.
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.4745189
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22089356
ID  - 22089356
ER  -