TY  - RPRT
TI  - Oxygen diffusivity in silicon derived from dynamical X-ray diffraction
AU  - Will, J.
AU  - Groeschel, A.
AU  - Bergmann, C.
AU  - Steinrueck, H. -G.
AU  - Magerl, A.
AU  - Kot, D.
AU  - Schubert, M. A.
AU  - Kissinger, G.
PY  - 2013
DO  - 10.1063/1.4792747
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22102273
ID  - 22102273
ER  -