TY  - RPRT
TI  - Electron caustic lithography
AU  - Kennedy, S. M.
AU  - Zheng, C. X.
AU  - Tang, W. X.
AU  - Paganin, D. M.
AU  - Jesson, D. E.
AU  - Fu, J.
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.4730139
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22107630
ID  - 22107630
ER  -