TY  - RPRT
TI  - Tungsten diffusion in silicon
AU  - De Luca, A.
AU  - Texier, M.
AU  - Burle, N.
AU  - Oison, V.
AU  - Pichaud, B.
AU  - Grosjean, C.
PY  - 2014
DO  - 10.1063/1.4859455
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22271302
ID  - 22271302
ER  -