TY  - RPRT
TI  - Atomic and molecular layer deposition for surface modification
AU  - Vähä-Nissi, Mika
AU  - Sievänen, Jenni
AU  - Salo, Erkki
AU  - Heikkilä, Pirjo
AU  - Kenttä, Eija
AU  - Johansson, Leena-Sisko
AU  - Koskinen, Jorma T.
AU  - Harlin, Ali
PY  - 2014
DO  - 10.1016/j.jssc.2013.11.040
UR  - https://www.osti.gov/biblio/22334237
ID  - 22334237
ER  -