TY  - RPRT
TI  - Method of chemical doping that uses CMOS-compatible processes
AU  - Misra, Shashank
AU  - Ward, Daniel Robert
AU  - Campbell, DeAnna Marie
AU  - Lu, Tzu-Ming
AU  - Schmucker, Scott William
AU  - Anderson, Evan Michael
AU  - Leenheer, Andrew Jay
AU  - Ivie, Jeffrey Andrew
PY  - 2023
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2293772
ID  - 2293772
ER  -