TY  - RPRT
TI  - Computed axial lithography optimization system
AU  - Shusteff, Maxim
AU  - Champley, Kyle
AU  - Fong, Erika Jo
AU  - Taylor, Hayden
AU  - Li, Chi Chung
AU  - Rongey, Jr., Trevor
AU  - Luk, Sui Man
AU  - Fu, Heting
AU  - Feili, Samira
AU  - Toombs, Joseph
AU  - Heidari, Hossein
PY  - 2023
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2293831
ID  - 2293831
ER  -