TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposition with passivation treatment
AU  - Prinz, Friedrich B.
AU  - Xu, Shicheng
AU  - English, Timothy
AU  - Provine, John
AU  - Thian, Dickson
AU  - Torgersen, Jan
PY  - 2023
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2293953
ID  - 2293953
ER  -