TY  - RPRT
TI  - Thermal scanning probe and laser lithography for patterning nanowire based quantum devices
AU  - Shani, Lior
AU  - Chaaban, Jana
AU  - Nilson, Alec
AU  - Clerc, Eliott
AU  - Menning, Gavin
AU  - Riggert, Colin
AU  - Lueb, Pim
AU  - Rossi, Marco
AU  - Badawy, Ghada
AU  - Bakkers, Erik P. A. M.
AU  - Pribiag, Vlad S.
PY  - 2024
DO  - 10.1088/1361-6528/ad3257
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2339874
ID  - 2339874
ER  -