TY  - RPRT
TI  - Benchmarking of X‐Ray Fluorescence Microscopy with Ion Beam Implanted Samples Showing Detection Sensitivity of Hundreds of Atoms
AU  - Masteghin, Mateus G.
AU  - Gervais, Toussaint
AU  - Clowes, Steven K.
AU  - Cox, David C.
AU  - Zelyk, Veronika
AU  - Pattammattel, Ajith
AU  - Chu, Yong S.
AU  - Kolev, Nikola
AU  - Stock, Taylor J. Z.
AU  - Curson, Neil J.
AU  - Evans, Paul G.
AU  - Stuckelberger, Michael
AU  - Murdin, Benedict N.
PY  - 2024
DO  - 10.1002/smtd.202301610
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2345249
ID  - 2345249
ER  -