TY  - RPRT
TI  - Science challenges and research opportunities for plasma applications in microelectronics
AU  - Graves, David B.
AU  - Labelle, Catherine B.
AU  - Kushner, Mark J.
AU  - Aydil, Eray S.
AU  - Donnelly, Vincent M.
AU  - Chang, Jane P.
AU  - Mayer, Peter
AU  - Overzet, Lawrence
AU  - Shannon, Steven
AU  - Rauf, Shahid
AU  - Ruzic, David N.
PY  - 2024
DO  - 10.1116/6.0003531
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2349231
ID  - 2349231
ER  -