TY  - RPRT
TI  - A universal metasurface transfer technique for heterogeneous integration
AU  - Zhang, Xu
AU  - Cai, Haogang
AU  - Daqiqeh Rezaei, Soroosh
AU  - Rosenmann, Daniel
AU  - Lopez, Daniel
PY  - 2023
DO  - 10.1515/nanoph-2022-0627
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2349274
ID  - 2349274
ER  -