TY  - RPRT
TI  - Exploring the relationship between deposition method, microstructure, and performance of Nb/Si-based superconducting coplanar waveguide resonators
AU  - Oh, Jin-Su (ORCID:0000000274623142)
AU  - Kopas, Cameron J.
AU  - Marshall, Jayss
AU  - Fang, Xiaotian
AU  - Joshi, Kamal R. (ORCID:0000000204942359)
AU  - Datta, Amlan (ORCID:0000000181012457)
AU  - Ghimire, Sunil
AU  - Park, Joong-Mok
AU  - Kim, Richard
AU  - Setiawan, Daniel
AU  - Lachman, Ella (ORCID:000000016967890X)
AU  - Mutus, Joshua Y.
AU  - Murthy, Akshay A. (ORCID:0000000176776866)
AU  - Grassellino, Anna
AU  - Romanenko, Alex
AU  - Zasadzinski, John
AU  - Wang, Jigang
AU  - Prozorov, Ruslan (ORCID:0000000280886096)
AU  - Yadavalli, Kameshwar (ORCID:0000000192490382)
AU  - Kramer, Matt (ORCID:0000000290976730)
AU  - Zhou, Lin (ORCID:0000000322866510)
PY  - 2024
DO  - 10.1016/j.actamat.2024.120153
UR  - https://www.osti.gov/biblio/2394612
ID  - 2394612
ER  -